Cảm biến áp suất được sử dụng để đo áp suất của chất lỏng và chất khí. Các loại phổ biến bao gồm cảm biến áp suất áp điện silicon MEMS, cảm biến áp suất cộng hưởng silicon MEMS, cảm biến áp suất điện dung bằng gốm, cảm biến áp suất điện dung kim loại, cảm biến áp suất màng -mỏng phún xạ và cảm biến áp suất đo biến dạng kim loại. Kịch bản hoạt động của họ khác nhau tùy thuộc vào nguyên tắc làm việc.
Cảm biến áp suất áp điện silicon MEMS Silicon:Đây là loại cảm biến áp suất được sử dụng rộng rãi nhất. Phạm vi đo chính của nó bao gồm 15 kPa đến 100 MPa, với độ chính xác điển hình từ 0,05% FS đến 3% FS. Phạm vi nhiệt độ hoạt động thường là -55 độ đến 180 độ . Vì tương thích với các quy trình sản xuất chất bán dẫn quy mô lớn nên nó không tốn kém. Để đo chất lỏng, cần phải có bao bì cách ly chứa đầy dầu.
Cảm biến áp suất cộng hưởng silicon MEMS: Cảm biến này sử dụng một thiết kế khéo léo để chuyển đổi áp suất thành sự thay đổi tần số cộng hưởng của chùm tia vi-. Vì tần số của chùm tia chỉ phụ thuộc vào cấu trúc và nhiệt độ của nó, đồng thời hưởng lợi từ hiệu ứng lọc, cảm biến này đạt được độ chính xác đầu ra cao lên tới 0,01% FS. Phạm vi đo áp suất chính của nó bao gồm 100 kPa đến 40 MPa, với phạm vi nhiệt độ hoạt động từ -55 độ đến 85 độ. Do chế tạo phức tạp và chi phí cao nên nó phù hợp cho các ứng dụng đòi hỏi độ chính xác cực cao, chẳng hạn như xử lý chất bán dẫn và đo độ sâu đại dương.
Cảm biến áp suất điện dung gốm:Vật liệu gốm có khả năng chống mài mòn tuyệt vời, giúp cảm biến này phù hợp để đo áp suất trong hỗn hợp bùn cát. Nó cũng có khả năng chống ăn mòn tốt, cho phép đo các chất lỏng ăn mòn như axit sulfuric. Ngoài ra, cảm biến áp suất bằng gốm có thể chịu được sự đóng băng của nước-một tính năng không thể đạt được bằng cảm biến MEMS.
Cảm biến áp suất điện dung kim loại:Cảm biến này sử dụng màng kim loại làm điện cực di động nhạy cảm với áp suất, tạo thành tụ điện với điện cực cố định. Khi áp suất tác động lên màng ngăn, điện dung giữa các điện cực sẽ thay đổi, thiết lập mối quan hệ điện dung-áp suất. Màng ngăn kim loại có thể được làm từ vật liệu chống ăn mòn như Inconel và có thể đo áp suất rất thấp (0–1/10/100/1000 Torr). Do đó, nó có ứng dụng rộng rãi trong đo chân không và đo khí đặc biệt trong ngành bán dẫn.
lắp bắpTphim-hinCảm biến áp suất & Máy đo biến dạng kim loạiCả hai cảm biến đều có vật liệu nhạy cảm với lực-được phủ trên bề mặt kim loại lớn, giúp sản phẩm chắc chắn và bền bỉ. Chúng phù hợp với phạm vi áp suất cao và các ứng dụng đòi hỏi độ tin cậy cao, chẳng hạn như hàng hóa màu vàng, động cơ diesel và máy khoan đường hầm. Những cảm biến này không dễ chế tạo thành cảm biến áp suất tuyệt đối và thường có thể bao phủ phạm vi tối đa lên tới 200 MPa hoặc cao hơn. Hình ảnh đầu tiên ở trên hiển thị lõi cảm biến màng mỏng-nổi, trong khi hình ảnh thứ hai hiển thị lõi máy đo biến dạng bằng kim loại.
Việc lựa chọn cảm biến áp suất phải dựa trên điều kiện vận hành thực tế để phát huy tối đa hiệu suất của nó. Mihui Technology chuyên về cảm biến áp suất dựa trên nhiều nguyên tắc khác nhau, cung cấp khả năng thiết kế, sản xuất và chế tạo hoàn chỉnh để cung cấp cho khách hàng những giải pháp phù hợp nhất. Chào mừng bạn liên hệ với chúng tôi nếu bạn quan tâm:Số điện thoại: +8618066965135; Email: mihuitec@gmail.com
