Công nghệ đo chân không là một thành phần quan trọng của khoa học và công nghệ chân không, với nhu cầu ngày càng tăng trong cả lĩnh vực quốc phòng và dân sự. Đo chính xác áp suất chân không là đặc biệt quan trọng. Máy đo chân không được sử dụng rộng rãi trong sản xuất công nghiệp, thiết bị bán dẫn, công nghiệp hạt nhân và các lĩnh vực khác. Các nhà sản xuất máy đo chân không nổi tiếng toàn cầu bao gồm MKS Instruments và INFICON. Có hai loại máy đo chân không phổ biến dựa trên nguyên lý hoạt động của chúng: một là máy đo chân không điện dung bằng kim loại, được thể hiện bằng phương pháp kỹ thuật của MKS, và loại còn lại là máy đo chân không điện dung bằng gốm, được thể hiện bằng phương pháp kỹ thuật của INFICON. Nói chung, máy đo chân không điện dung kim loại mang lại hiệu suất tốt hơn so với các mẫu điện dung gốm, khiến chúng được sử dụng rộng rãi hơn.
Bộ phận cảm biến của máy đo chân không điện dung kim loại bao gồm cấu trúc điện dung được hình thành bởi màng ngăn kim loại dày khoảng 40 μm và điện cực gốm. Như thể hiện trên các hình trên, màng ngăn kim loại được kéo căng với lực căng lớn trước khi hàn, tạo nên kết cấu có khả năng chịu được áp lực quá tải lên đến hàng trăm lần phạm vi định mức. Khi áp suất chân không tác dụng lên màng ngăn, nó sẽ biến dạng, làm thay đổi điện dung giữa điện cực màng kim loại và điện cực gốm. Bằng cách đo sự thay đổi điện dung này và hiệu chỉnh nó theo các tham chiếu áp suất chân không tiêu chuẩn, có thể xác định được giá trị chân không tuyệt đối. Để cải thiện độ chính xác của phép đo, một getter được đặt bên trong khoang.
Công ty TNHH Công nghệ Xi'an Mihui đã phát triển độc lập máy đo chân không VG750, đạt được hiệu suất tương đương với các sản phẩm MKS và INFICON. Nó bao gồm phạm vi đo từ 1 Torr đến 1000 Torr và đã được áp dụng rộng rãi trong các ứng dụng hàng loạt trong ngành công nghiệp bán dẫn và hạt nhân. Thông số hiệu suất của nó được liệt kê trong bảng dưới đây. Các bên quan tâm vui lòng liên hệ với chúng tôi để sử dụng thử.
Để biết thêm thông tin, vui lòng truy cập trang web của chúng tôi:mihuitec.com hoặc xem trang sản phẩm: Nhà sản xuất máy đo màng điện dung kim loại VG750 Trung Quốc Nhà máy cung cấp - Báo giá - Mihui Tech.
